半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
顶目原型
该公司客户为全球最大先进的半导体设备测封公司客户,处在珠江三角洲型省市,常见使用顶级电子器件的划区和封装形式试验。是由于本省环保节能的标准严谨,公司客户决定的使用生产废水零排出市政工程。工作于2030年重新启动,202两年6月建设成开工,解决大小为200吨/日,总投资加盟约2000百万元。
生活污水材料及原因
这项基本原则划区生活污水体现了下列特色:
高溶度氟化物,主耍发源晶圆分割后的难以清理加工过程,氟化合物溶度敢达150-200mg/L
带有微米级硅粉颗料,孔径多在100-500nm相互间
充分承载较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性微量分析巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,一般来说在2000-3000μS/cm
鑫霖环保设计标准流程
为改变污水处理技术口最终目标,新鑫霖环保的主要来考虑生产废水归类抽取和资源共享收回:
废污水划分回收体统
:将含氟污废水处理 与其他的污废水处理 分手持续
有机化学奠定除氟
:选用二级钙盐凝固法,积极配合有效凝固池
高級氧化物除理
:什么是臭氧离子液体防氧化降解塑料难处置生物碳物
膜精炼系统化
:用于DTRO碟管式反加入,沉淀因数为10倍
挥发凝结
:MVR机械设备水蒸气再挤压蒸馏器除理浓水
粗糙装置
:将凝结盐干热后是产业副厂品外售
清理郊果
系统的运转数据报告现示:
氟化物弄掉率>99.9%,满水后氟正离子<1mg/L
COD总清掉率>98%,水流COD<20mg/L
水网络资源回收利用率>95%,仅存在一些晶体盐
第年可环保再生资源回收高高品工业废水处理水约七万之吨
心得盐纯净度达标工业化的级的标准,推动資源化巧用
内容不实现目标了工业废水零摆放,还按照资源量出售创设了约80万/年的木制托盘投资收益。