该晶圆造成厂坐落在华中省份,常见出产8寸大半导体器件晶圆,单日废污水排污口量约800吨。犹豫出产流程中选择大量的氢佛酸参与晶圆蚀刻,影响废污水里面的氟化物氧浓度更是高达200-300mg/L,远超國家排污口规格(10mg/L如下)。
污废水 成份及起源
焦化废水基本源自以下三个环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高酸度氟化物(HF)、盐酸及一些血本属
生物机械厂拋光(CMP)污水
:含奈米级硅颗粒状、有机质络合剂
主设备擦洗生产废水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等巧妙物
处里制作工艺流量
用"药剂学悠长岁月中+水泥混凝土悠长岁月中+角度滤过"一级净化处理模式:
四级治理
:添加氯化钙和氢硫化钙,建立氟化钙沉淀出的,氟化物我们要除率达85%
三级除理
:移除PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),彻底清除悬浊液态严重排放物
二级正确处理
:利用多导电介质油烟净化器器和抗逆性炭活性炭吸附,溢水氟化物溶度比较稳定在8mg/L下例
核心设备包扩:pH程序自动调试程序、斜管析出池、板框压泥机(厌氧颗粒污泥过滤)。
决定郊果
投资项目使用5年数据信息统计数据信息展示:
氟化物均值有机废气浓度:7.2mg/L(如果低于中国标准)
COD我们要除率:92%
厌氧颗粒污泥水分含量率:≤65%
年收旧氟化钙副產品约150吨,推动资源英文化采取