该厂为85英寸晶圆生孩子线搭配的超注射用水模式,每次产生了含硅废水正确处理方法150吨。废水正确处理方法中虽无高价属,但硅分子量高易积垢,且电容率需提高18MΩ·cm性能回收利用。原本有正确处工院艺没办法够满足新出台的《电子厂工业生产水被污染的物排污标准》(GB39731-2020)格外排污卫生防护距离。
电镀废水营养成分共同点
最主要污染问题物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度分布0.1-1μm)
特定规范
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
水体基本特征
:低导电率(<50μS/cm)但硅有机化合物体型复杂化
净化处理工艺设备方法
去创新主要包括"梯级膜分離+电去亚铁离子"结合加工:
微滤预处里
:1μm卫浴陶瓷膜电话拦截大粒子硅,通量形成80LMH
亚铁离子传递硅胶粘合剂
:D201大孔硅胶粘合剂考虑性吸附性硅酸大分子
二次元RO系统化
:一、段收旧率60%,2.段主要包括高脱硼膜pcb板
EDI电去阴阳离子
:电流值孔隙率2A/m²,一直快速清理多余铁离子
太阳光的紫外线消毒
:254nm紫外光线使用量40mJ/cm²
水平成效
激发转用阻硅剂(巧妙胺类结合物),推迟膜污染破坏周期长3倍
EDI控制器自主创新流道方案,硅避开率升降至99.8%
网络硅进行检测仪(测定空间0.1-500μg/L)完成深度贫困掌控
程序运行成果
经第3方在线检测:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼量从8μg/L低于0.3μg/L
设计收购 率从原40%增加至68%
膜换新周期怎么算延伸至5年,年行驶投入降底35%